用于高度真空环境的氟素油脂

用于半导体制造装置的氟素油脂

FLOIL TKU系列是符合环保方针的氟素油脂。即使在高度真空的环境及温度变化下，也极少会出现油份蒸发及黏度变化的情况。故最适合用在半导体的制造装置、真空装置、真空泵、轴承可折动部分及油封等的各种密封部件上，属最高级的油脂产品。

「FLOIL TKU 系列」的特征

比一般氟素油脂拥有更高性能

・符合REACH法规附件 Annex XVII
・蒸汽压低，即使在高度真空下油份蒸发也极少
・有优越的氧化稳定性及抗化学药品性
・不会对橡胶及塑料造成影响
・有1kg 容器及 50g 管两种包装

用途分类与代表型号