用于半导体制造装置的氟素油脂

FLOIL TKU系列是符合环保方针的氟素油脂。即使在高度真空的环境及温度变化下，也极少会出现油份蒸发及黏度变化的情况。故最适合用在半导体的制造装置、真空装置、真空泵、轴承可折动部分及油封等的各种密封部件上，属最高级的油脂产品。