用於高度真空環境的氟素油脂

用於半導體製造裝置的氟素油脂

FLOIL TKU系列是能應對環境變化的氟素油脂。即使在高度真空的環境及溫度變化下，也極少會出現油份蒸發及黏度變化的情況。故最適合用在半導體的製造裝置、真空裝置、真空泵、軸承可折動部分及油封等的各種密封部件上，屬最高級的油脂產品。

「FLOIL TKU系列」的特徵

比一般氟素油脂擁有更高性能

・符合REACH法規附件 Annex XVII
・蒸汽壓低，即使在高度真空下油份蒸發也極少
・有優越的氧化穩定性及抗化學藥品性
・不會對橡膠及塑膠造成影響
・有1kg 容器及 50g 管兩種包裝

各型號的用途別