用於半導體製造裝置的氟素油脂

FLOIL TKU系列是能應對環境變化的氟素油脂。即使在高度真空的環境及溫度變化下，也極少會出現油份蒸發及黏度變化的情況。故最適合用在半導體的製造裝置、真空裝置、真空泵、軸承可折動部分及油封等的各種密封部件上，屬最高級的油脂產品。