고진공용 불소 그리스
FLOIL TKU시리즈
반도체 제조장치용 불소 그리스
FLOIL TKU시리즈는 환경대응형 불소그리스 입니다.고진공 환경 조건에서나 온도변화에 의한 OIL의 증발 및 점도 변화가 극히 적고, 반도체제조장치, 진공장치, 진공펌프, 구동축부 또는 OIL SEAL등 각종SEAL부에 최적화한 고스펙의 그리스 입니다.
「FLOIL TKU시리즈」의 특징
종래의 불소그리스와 비교해서 보다 고성능으로
・REACH규칙 Annex XVII에 대응
・증기압이 낮고, 고진공하에서도 오일의 증발이 극히 적다
・산화안정성, 내약품성이 우수하다.
・고무, 플라스틱에 악영향을 끼치지 않는다.
・1kg용기、50g튜브 2종류의 포장단위로 대응.
용도별 제품 일람
- 과제
- 대표품번
- 용도
- -40℃이하의 저온하에서도 사용하고 싶을 때
- 대표품번 : TKU-056
- 용도 : 반도체 제조장치내 각종 구동부
- 고진공상태에서 사용하기 위해 오일의 증발을 억제하고 싶다.
- 대표품번 : TKU-002
- 용도 : 반도체 제조장치내 각종 구동부